-深圳是迪晟能源技術有限公司，研究了激光摻雜選擇性發(fā)射極匹配的擴散工藝，通過調整不同的工藝參數，達到相同的高方阻，比較了不同方法獲得的高方阻的均勻性，得到了在105Ω/□左右的高方阻仍能保持較好均勻性的擴散工藝。通過調整激光功率形成不同的重摻雜區(qū)方塊電阻，研究了不同的重摻雜區(qū)方塊電阻對電池主要電性能參數的影響，分析了變化原因。后比較了激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池和傳統(tǒng)太陽電池的電性能及外量子效率。工藝優(yōu)化后，激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池的轉換效率相比傳統(tǒng)太陽電池有0.24%的提升。

　　提高是提高行業(yè)競爭力的重要途徑。發(fā)射極摻雜濃度對太陽電池轉換效率的影響是雙重的，采用高濃度的摻雜，可以減小硅片和電極之間的接觸電阻，降低電池的串聯電阻，但是高的摻雜濃度會導致載流子復合變大，少子壽命降低，影響電池的開路電壓和短路電流。采用低濃度的摻雜，可以降低表面復合，提高少子壽命，但是必然會導致接觸電阻的增大，影響電池的串聯。選擇性發(fā)射極太陽電池的結構設計可以很好地解決這一矛盾。選擇性發(fā)射極太陽電池，即在金屬柵線與硅片接觸部位及其附近進行高濃度摻雜，而在電極以外的區(qū)域進行低濃度摻雜。這樣既降低了硅片和電極之間的接觸電阻，又降低了表面的復合，提高了少子壽命。：

　　(1)降低串聯電阻，提高填充因子;

　　(2)減少載流子復合，提高表面鈍化效果;

　　(3)增強電池短波光譜響應，提高短路電流和開路電壓。

　　目前選擇性發(fā)射極的主要實現工藝有氧化物掩膜法、絲網印刷硅墨水法、離子注入法和激光摻雜法等，其中激光筆廠騁摻雜法由于其工藝過程簡單，從圖1可以看出從太陽電池常規(guī)產線升級成激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池生產線，工藝上只需增加激光摻雜一個步驟，從設備上來說，只需增加摻雜用激光設備，與常規(guī)產線的工藝及設備兼容性很高，是行業(yè)研究的熱點。激光筆廠騁摻雜法是采用擴散時產生的磷硅玻璃層作為摻雜源進行激光掃描，形成重摻雜區(qū)。目前雖然對激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池的理論研究和實驗的報道很多，但是在實際的大規(guī)模生產中，仍然存在著擴散高方阻的均勻性、輕重摻雜區(qū)方塊電阻匹配和印刷正電極的精確對位等問題。

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